1. 招標(biāo)條件

本招標(biāo)項(xiàng)目12英寸非接觸式光刻機(jī)招標(biāo)人為中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所，招標(biāo)項(xiàng)目資金來自國撥資金，出資比例為100%。該項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對12英寸非接觸式光刻機(jī)進(jìn)行國內(nèi)公開招標(biāo)。

2. 項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍

2.1 招標(biāo)編號：ZKX20250915A005

2.2 招標(biāo)項(xiàng)目名稱：12英寸非接觸式光刻機(jī)。

2.3 數(shù)量：1套。

2.4 核心技術(shù)指標(biāo)：

2.4.1 曝光光源：汞燈（i線）

2.4.2 最大光刻面積：≥8英寸

2.4.3 分辨率：優(yōu)于0.5μm (正性光刻膠厚度1um)

2.4.4 套刻精度：優(yōu)于±350nm @ 8英寸

2.4.5 曝光時間：≤120s @300mj（8英寸全片超過1.4億個多邊形結(jié)構(gòu)）

2.4.6 掩模版下表面與芯片上表面之間距離不小于10mm

2.5 交貨地點(diǎn)：中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所。

2.6 交貨期：合同生效后5個月內(nèi)。

3. 投標(biāo)人資格要求

3.1 投標(biāo)人須具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。

3.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)。

3.3本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

3.4其他要求：授權(quán)代表須提供投標(biāo)截止時間前最近6個月中任意1個月社保證明文件（如果委托代理人的社保不是投標(biāo)人繳納，需要提供委托代理人和投標(biāo)人之間的用工合同，投標(biāo)人委托第三方投保的有效合同證明）。

3.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)購買招標(biāo)文件才具有投標(biāo)資格。

4. 招標(biāo)文件的獲取

4.1凡有意參加投標(biāo)者，請于2025年5月13日至2025年5月20日17時(北京時間)，登陸中招聯(lián)合招標(biāo)采購平臺（網(wǎng)址：www.365trade.com.cn,注冊操作咨詢電話010-86397110）購買并下載招標(biāo)文件，現(xiàn)場不予受理。

4.2 招標(biāo)文件每套售價800元(從中招聯(lián)合招標(biāo)采購平臺下載電子發(fā)票），售后不退。

5. 投標(biāo)文件的遞交

5.1投標(biāo)文件遞交的截止時間（投標(biāo)截止時間，下同）為2025年6月3日13時，地點(diǎn)為上海市虹口區(qū)玉田路500號，十五號樓一樓會議室。

5.2逾期送達(dá)的、未送達(dá)指定地點(diǎn)的或者不按照招標(biāo)文件要求密封的投標(biāo)文件，招標(biāo)人將予以拒收。

6. 發(fā)布公告的媒介

本次招標(biāo)公告同時在中招聯(lián)合招標(biāo)采購平臺和中國招標(biāo)投標(biāo)公共服務(wù)平臺上發(fā)布。

7. 聯(lián)系方式

招標(biāo)人名稱：中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所

地址：上海市虹口區(qū)玉田路500號

聯(lián)系人：陶鑫寧

電話：021-25051445

招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)：中科信工程咨詢（北京）有限責(zé)任公司

地址：北京市海淀區(qū)金溝河路與采石北路十字路口東南角88號大樓

售賣聯(lián)系人：劉女士

電話：010-88529059

項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：賈夢星

電話：010-68388750

傳真：010-88529153

電子郵件：zhaobiaobu@zonkex.com

2025年5月13日

202505131343536910173686092編輯：365trade.co