1.招標條件
本招標項目12英寸非接觸式光刻機招標人為中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所，招標項目資金來自國撥資金，出資比例為100%。該項目已具備招標條件，現(xiàn)對12英寸非接觸式光刻機進行國內(nèi)公開招標。
2.項目概況...