場發(fā)射掃描電子顯微鏡預公告
1.采購項目：場發(fā)射掃描電子顯微鏡（FESEM）1臺

關鍵技術要求：

1）分辨率：
（1）優(yōu)于1.0nm@30keV。
（2）優(yōu)于0.5nm@15keV。
（3）優(yōu)于1.0nm@1keV。
2）放大倍數(shù)范圍：12X～1,000,...