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招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào)：0613-244022086875
項(xiàng)目名稱：光學(xué)臨近效應(yīng)修正及可制造性設(shè)計(jì)和物理驗(yàn)證成套工具軟件
項(xiàng)目名稱（英文）：OPC/DFM
招標(biāo)機(jī)構(gòu)：上海機(jī)電設(shè)備招標(biāo)
招標(biāo)方式：公開招標(biāo)
招標(biāo)結(jié)果：重新招標(biāo)
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