對下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競爭性招標(biāo)，于2025-07-03在公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。1、招標(biāo)條件項目概況:上海新微半導(dǎo)體設(shè)備采購項目資金到位或資金來源落實情況:項目資金已落實項目已具備招標(biāo)條件的說明:已具備2、招標(biāo)內(nèi)容招標(biāo)項目編號:0705-254006055024招標(biāo)項目名稱:SiN刻蝕機(jī)采購項目實施地點:中國上海市招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):

序號	產(chǎn)品名稱	數(shù)量	簡要技術(shù)規(guī)格	備注
1	SiN刻蝕機(jī)	1臺	主要用于200mm晶片及以下（可通過更換配置兼容50、100、150、200mm直徑晶片）的多功能刻蝕，具有穩(wěn)定可靠的工藝性能、寬闊的工藝窗口和良好的工藝兼容性。同時具備完備的低損傷刻蝕解決方案，可實現(xiàn)GaN、AlGaN、AlN、SiO2、SiN、TiO2、TiN等膜層材料的刻蝕，同時具備原子層級的高精度刻蝕功能。詳見第八章“技術(shù)規(guī)格”

3、投標(biāo)人資格要求投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:（1） 投標(biāo)人應(yīng)為符合《中華人民共和國招標(biāo)投標(biāo)法》規(guī)定的獨(dú)立法人或其他組織；（2） 如是代理商投標(biāo)的話，投標(biāo)人須獲得投標(biāo)貨物的制造商出具的針對本項目設(shè)備的制造商授權(quán)書或者能證明投標(biāo)人與制造商之間合法代理關(guān)系的證明；（3） 投標(biāo)人提供的投標(biāo)貨物必須為新設(shè)備；（4） 投標(biāo)人或投標(biāo)貨物的制造商須具備此類設(shè)備的生產(chǎn)或供貨經(jīng)驗，投標(biāo)人或投標(biāo)貨物的制造商在近 3年內(nèi)至少為中國大陸地區(qū)提供過20臺以上與投標(biāo)產(chǎn)品相同或相似的設(shè)備；（5） 投標(biāo)人須在投標(biāo)截止期之前在國家商務(wù)部指定的機(jī)電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo) （以下簡稱機(jī)電產(chǎn)品交易平臺，網(wǎng)址為：http:// ）上完成有效注冊（由于機(jī)電產(chǎn)品交易平臺的注冊審核需要一定時間，如投標(biāo)人在決定參加本項目投標(biāo)后請盡早登錄該網(wǎng)站查詢自身是否已經(jīng)處于有效注冊狀態(tài)，以免因臨近投標(biāo)截止時間再來辦理注冊事宜而影響正常投標(biāo)）；（6） 本項目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受未領(lǐng)購招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以4、
未曾在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應(yīng)先注冊。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說明下載投標(biāo)文件！

項目 聯(lián)系人：李楊  
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